臭氧會自行分解為氧氣，不產(chǎn)生殘留污染，消毒后不需通風(fēng)換氣。常規(guī)消毒均需通風(fēng)換氣或化學(xué)中和，麻煩而又降低消毒效果。臭氧可直接對食品使用作殺菌或防霉保鮮，為干法消毒，簡單易行。臭氧殺菌濃度對食品是極微弱的氧化濃度，對食品無害。

1904年國外就有利用臭氧保存牛奶、肉制品、奶酪、蛋白等食品的報道， 1909年法國德彼涅冷凍廠正式使用臭氧對冷凍肉表面殺菌。二戰(zhàn)后，歐洲國家發(fā)展了用于遠(yuǎn)洋運輸船舶食品冷藏倉消毒、防霉、保鮮的臭氧發(fā)生器.到八十年代中期，包括我國在內(nèi)的食品船艙都裝備了臭氧設(shè)備，現(xiàn)已推廣到食品集裝箱、食品冷藏車內(nèi)。

臭氧具有殺菌力強(qiáng)，不產(chǎn)生二次污染的優(yōu)越性，在發(fā)達(dá)國家被廣泛應(yīng)用于食品工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、飲料生產(chǎn)、日化工業(yè)、遠(yuǎn)洋運輸及餐飲業(yè)等。臭氧在我國的應(yīng)用在90年代初期起步，經(jīng)歷了十多年的歷程，正在不斷的成熟和完善中。

(1) 臭氧到處滲透，沒有死角。紫外線只有照射到物體表面且達(dá)到一定的照射強(qiáng)度標(biāo)準(zhǔn)才有殺菌效果。食品車間一般比較高大，致使紫外線照射強(qiáng)度遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠，特別是距離遠(yuǎn)，照射產(chǎn)生很大死角，如加工案板下部等。臭氧為氣體，滲透性強(qiáng)，擴(kuò)散性好，濃度均勻，沒有死角；

(2) 殺菌速度快。紫外線照射殺菌需要較長的作用時間，一般要照射6小時以上，而符合標(biāo)準(zhǔn)濃度的臭氧只需開機(jī)1小時以上；

(3) 高濕度下殺菌效果更好。紫外線照射殺菌在環(huán)境相對濕度達(dá)到60%以上時，消毒效果急劇下降，濕度達(dá)到80%以上時反可誘使細(xì)菌復(fù)活。臭氧則相反，濕度越高，殺菌效果越好。這是由于高濕度下細(xì)胞膜膨脹變薄，其組織容易被臭氧破壞，這一特性對于食品行業(yè)中普遍存在的高濕環(huán)境特別適合；

(4) 有低濃度保潔功能。紫外線照射時生產(chǎn)人員必須離開現(xiàn)場，照射完成后無法用低功率的紫外線照射保潔；臭氧消毒時生產(chǎn)人員必須離開現(xiàn)場，消毒完成后可以調(diào)低臭氧發(fā)生量，用符合國家衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)的低濃度臭氧繼續(xù)保持生產(chǎn)車間的空氣清潔。

依靠其強(qiáng)氧化性能可快速分解產(chǎn)生臭味及其其它氣味的有機(jī)或無機(jī)物質(zhì)后達(dá)到脫臭效果，將臭味根源物質(zhì)分解成無害物質(zhì)。例如：將氨氣化成二氧化碳和水。